정보제공:ZEUS 장비활용종합포털(www.zeus.go.kr)
Focused Ion Beam System
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| 보유기관 | 구미전자정보기술원 | ||
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| 모델명 | Helios 5 UX | ||
| 설치장소 | 경상북도 구미시 산동읍 첨단기업1로 17 구미전자정보기술원 경북과학기술진흥센터 F1층 108호 | ||
| 담당자 | 김혜란 (054-479-2175) | ||
| 연락처 | 054-479-2175 | ||
| lan311@geri.re.kr | |||
| 장비설명 | - FIB : 30kV로 가속된 Ga ion을 시료에 조사하여 재료를 에칭하는 기술로서 표면 단면을 관찰
- SEM : 전자빔을 발생, 가속시켜 시료에 조사한 후 시료표면에서 발생된 2차 전자-후방산란전자 등을 이용하여 미세한 표면의 요철 및 조성상을 관찰 |
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|---|---|---|---|
| 구성 및 기능 | ◎ Focused Ion Beam (FIB)
- 분해능 : 4nm/30kV - 가속전압 : 500V-30kV - 프로브 전류 : 1pA – 65nA ◎ Scanning Electron Microscopy(SEM) - 분해능 : 0.7nm/1kV, 0.6nm/30kV - 가속전압 : 0.1kV-30kV ◎ 추가기능 - EDS : 125eV (Mn) - 자동 TEM 시료제작 (Auto TEM) - Nano-manipulator (Easylift) |
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| 사용/활용예 | |||
| 번호 | 시험항목 | 단위 | 이용료(원) |
|---|---|---|---|
| 1 | 시험품 발송비 | 건 | 5,000 |
| 2 | 시험성적서 | 건 | 5,000 |
| 3 | TEM sample prep(Plan View) | 시료 | 500,000 |
| 4 | TEM sample prep(Cross section) | 시료 | 400,000 |
| 5 | EDS | 시간 | 50,000 |
| 6 | FIB(Milling & View) | 시간 | 200,000 |
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