정보제공:ZEUS 장비활용종합포털(www.zeus.go.kr)
Rapid Thermal Process Equipment
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| 보유기관 | 구미전자정보기술원 | ||
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| 모델명 | VULCAN-R81RD | ||
| 설치장소 | 경상북도 구미시 구미대로 350-27 IT의료융합기술센터 연구실험동 클린룸 B1 클린룸 | ||
| 담당자 | 이수한 (054-460-9123) | ||
| 연락처 | 054-460-9123 | ||
| swan@geri.re.kr | |||
| 장비설명 | 적외선 램프를 이용한 방사선열전달(radiation heat transfer) 방식으로
8인치 웨이퍼를 1000 ℃ 까지 빠른 시간에 가열할 수 있는장비. 주로 금속박막 특성을 제어하거나 이온주입으로 손상된 시편의 재결정화(recrystallization)를 위한 용도로 사용된다. |
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| 구성 및 기능 | ■ 구성
1. 본체, 3 가스 라인(Ar, He, N2), MFC (5 nlm: norm liter per minute), 1 set Graphite Susceptor 포함 2. 진공 펌프. 진공도 측정기, 밸브 1 set 3. 외장형 수냉각기(water cooler: UHE - Universal Heat Exchanger) 1 set ■ 성능 - 적외선 램프 (Infrared lamp) 방사열전달 방식(radiation heat transfer method) - 최대 온도 : 1,000 ℃ 이상 - 최대 사이즈 : 지름 200 mm (8 inch) 웨이퍼 이상 |
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| 사용/활용예 | -. 스퍼터 장비로 증착된 ITO를 열처리를 통해 투과율 및 전기전도도 향상. -. 수분 분산 또는 스핀코팅으로 분산 된 그래핀(Graphene) 입자를 열처리를 통해 결정화 작업시 사용 | ||
| 번호 | 시험항목 | 단위 | 이용료(원) |
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| 이용수가 정보가 없습니다. | |||
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